第94章第102103章联盟(为阁昏晓及订(第2/3 页)
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负载体形成等离子体并且多次反射后,形成了极紫外光源,这个时候,再设计一个放电反应室,让等离子体进一步转化,辐射出亮度更高,更纯净的极紫外线,如果还有多层反射镜,euv的纳米刻度会进一步提升,就有可能满足3纳米制程的要求!”
其实这就是解决方案,只不过何星舟说的委婉了一点。
“这样做我们也设想过!”严蕊似乎有点想法了,她问道:“这个电能反应室……”
“我有设计图!”何星舟说道。
“真的?!”众人听到他这么说,精神为之一振,赶紧说道:“让我们看看!”
“去会议室!”何星舟笑道。
众人一起前往会议室,何星舟呼唤鹿米,让她打开设计图纸,并且进行讲解。
当他讲完,全场鸦雀无声。每个人都在思考和计算。
足足过了十分钟,严蕊第一个站起来,满心欢
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